![]() AT 源自瑞士,前身 VAT Vakuumventile AG(中文注册名 “徽拓真空阀门”),深耕真空阀门领域已 60 年。它做的事情听起来简单,做起来很难:在芯片制造最核心的刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻与量测设备里,精确地打开和关闭那道通往超高真空腔体的门,并且在数十万次循环中不产生一颗多余颗粒。 如今,VAT 在半导体及半导体相关真空阀门领域的全球市场占有率约 71%,客户覆盖全球主要晶圆制造设备厂商;从 CERN 大型强子对撞机的超高真空系统,到第 6 代显示面板与光伏产线,都能看到它的阀门。公司总部位于瑞士 Haag,在 29 个国家设有销售与服务网点,制造基地布局瑞士、马来西亚、罗马尼亚,研发中心分布在瑞士、美国、马来西亚,全球员工约 3,250 人,2016 年在瑞士证券交易所上市(代码 VACN)。 VAT 的产品逻辑是 “一个平台,全场景覆盖”:从 10⁻¹⁰ mbar 的极端超高真空到 5 bar 的正压工况,从 DN 16 的小口径到数米长的大型传输阀,从标准闸阀、蝶阀、角阀到多阀模块与边缘焊接波纹管,均有对应系列。所有阀门在洁净室环境下制造,针对工艺腔体的颗粒、腐蚀、高温与高循环工况做定制化设计。
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