61.3 高真空蝶形控制阀
真空蝶阀 · 高真空蝶形控制阀
公称通径：DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’), DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12")|压力范围：1 × 10 -8 mbar 至 1.2 bar|驱动器：带步进电机的集成控制器，面向现场的控制 (foc)|法兰：ISO-KF, ISO-F
阀体材料：铝或不锈钢|密封：馈通件，FKM (其他按要求)|安装位置：任何（建议安装在真空泵的一侧）
用途：快速且精准的下游压力控制
