15.2 超高真空隔离闸阀
15.2 超高真空隔离闸阀（真空闸阀），冲击和颗粒数极低；通径 DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), D…；驱动 双作用；阀体 铝；密封 氟橡胶。
真空闸阀 · 超高真空隔离闸阀
公称通径：DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6")|压力范围：1 × 10 -7 mbar to 1 bar (绝对压强)|驱动器：双作用|法兰：ISO-F, ASA-LP, JIS
阀体材料：铝|密封：阀帽阀板，氟橡胶|安装位置：任何位置
用途：冲击和颗粒数极低
