61.6 高真空蝶形控制和隔离阀
61.6 高真空蝶形控制和隔离阀（真空蝶阀），快速且精准的下游压力控制和隔离；通径 DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63…。
真空蝶阀 · 高真空蝶形控制和隔离阀
公称通径：DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("), DN 80 (3"), DN 100 (4")|压力范围：硬质阳极氧化铝 不锈钢，< 1 × 10 -6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10 -8 mbar 至 1.2 bar (abs)|驱动器：带有步进电机的集成控制器， 面向现场的控制(foc)|法兰：ISO-KF, ISO-F
阀体材料：硬质阳极氧化铝或不锈钢|密封：阀板 馈通件，氟橡胶 氟橡胶|安装位置：阀座侧朝向舱室
用途：快速且精准的下游压力控制和隔离
