61.7 高真空蝶形控制阀
61.7 高真空蝶形控制阀（真空蝶阀），基于 VAT 的最新控制器技术， HV 蝶形控制阀可在极大的压力范围内提供出色的压力控制性能。从几乎零电导率开始。
真空蝶阀 · 高真空蝶形控制阀
公称通径：DN 40 mm (1 ½"), DN 50 mm (2"), DN 63 mm (2 ½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4")|驱动器：带有步进电机的集成控制器， 面向现场的控制(foc)|法兰：ISO-KF, ISO-F
阀体材料：硬质阳极氧化铝或不锈钢|密封：阀板 馈通件，FKM FKM|安装位置：阀座侧朝向舱室
用途：基于 VAT 的最新控制器技术，61.7 HV 蝶形控制阀可在极大的压力范围内提供出色的压力控制性能。从几乎零电导率开始，阀门可在 0.5 秒内达到完全电导率。快速反应、精确的控制器可在整个工作范围内实现非常精细的压力控制。压力控制功能基于经过验证的 VAT 设计原理，该原理使用阀板作为节流元件来改变阀门开口的传导性。 61.7 HV 蝶形控制阀与外部压力传感器相结合，可控制真空室中的精确压力。为此，VAT 控制器使用主机系统设置的设定压力和腔室中测量的压力来改变阀板的位置，直到达到设定压力。 61.7 HV 蝶形控制阀并非设计为隔离阀，但它确实能够在零电导下运行。这是通过板上的弹性体在零电导位置接触阀体来实现的。然而，弹性体的这种标称压缩并不能有效地形成气密密封。
