95.3 高真空控制和隔离阀组合单元
95.3 高真空控制和隔离阀组合单元（真空蝶阀），控制和隔离阀组合单元在一个小巧的单元内结合采用两项最佳阀门技术。在 系列中，蝶形控制阀作为节流阀。
真空蝶阀 · 高真空控制和隔离阀组合单元
公称通径：DN 25 (1"), DN 40 (1½"), DN 50 (2"), DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10")|压力范围：DN 25 – 50 DN 63 – 250，1 × 10 -8 mbar 至 1.2 bar（绝对压强） 1 × 10 -7 mbar 至 1.2 bar（绝对压强）|驱动器：带有步进电机的集成压力控制器|法兰：ISO-KF, ISO-F
阀体材料：DN 25 – 50，铝或不锈钢|安装位置：任何位置
用途：95.3 控制和隔离阀组合单元在一个小巧的单元内结合采用两项最佳阀门技术。在 95.3 系列中，蝶形控制阀作为节流阀，与角阀（DN 达 50 mm (2")）或闸阀（DN 为 63 mm (2.5") 及以上）组合，兼备了绝佳的可控性和紧密的隔离 (< 1 x 10 -9 mbar ls -1 )。此组合设计的优势在于占用空间小，因为它只需要一个控制器就可以控制两个阀门，并且不需要额外的法兰和连接器（通常在安装两个单独阀门时需要）。 集成的 32 位 IC2 压力控制器可快速精准地控制蝶形阀板位置，通过较大的流导范围提供卓越的可控性。该控制器还可以控制集成角阀或集成闸阀的隔离功能。两个阀门的运动周期可在同一个运动配置文件中同步，以提供顺畅的运行以及最佳的控制和隔离功能。组合阀甚至能够以定义的角度开启蝶形板，同时隔离阀仍保持闭合，避免关闭位置出现死区。
