21.1 气体计量阀
21.1 气体计量阀（真空计量微漏阀），真空室的受控、可再现气流引入 现代的关键性能指标是其可控性以及精确可靠地重现流量设置的能力。而 系列提供了这两项功能。 系列有两种类型。
气体计量/微漏阀 · 气体计量阀
压力范围：1 × 10 -7 mbar to 4 bar (绝对压强)，1 × 10 -7 mbar to 2.5 bar (绝对压强)|驱动器：塑料（聚甲醛），塑料（聚甲醛）
密封：氟橡胶，氟橡胶|安装位置：任何位置，任何位置
用途：真空室的受控、可再现气流引入 现代气体计量阀的关键性能指标是其可控性以及精确可靠地重现流量设置的能力。而 21.1 气体计量阀系列提供了这两项功能。 21.1 系列有两种类型，一种用于粗略的气体计量（DN为10 mm，½"），另一种用于精确的气体计量（DN 为16 mm，5/8"）；由于其独立的关闭和加药针校准功能，21.1 系列可在不丢失定义流量设置的情况下关闭。使用针校准方向盘，可以将针位置和流量设置微调成所需设置。由于打开/关闭机构的运行独立于计量机构，此设置可在阀门开启和关闭期间维持。
